Si-Pyrexボンドウェーハ

安定した基板であるガラスに薄膜シリコンを張り合わせたウェーハです。
ガラス基板上に1μmの薄膜シリコン形成が可能です。

オプティカルデバイスやパッケージといったアプリケーションに使用します。